泄漏檢測技術領域有多種方法可檢測不同泄漏量的漏隙，如氣泡檢漏、鹵素檢漏、壓力變化檢漏、氦質譜檢漏等，氦質譜檢漏具有適應范圍廣、定位定量準確、無毒、安全、反應速度快等優點，因此對泄漏量在10- 6 Pa·m3/s 以下的微小漏隙，目前比較廣泛采用氦質譜檢漏方法。